Normal SEM 모듈의 소형화를 실현함으로써 최대 15만 배율까지 관찰이 가능하도록 구현한 경제적인 Table top SEM 입니다. 조건에 따라 쉽게 조작이 가능한 다양한 크기의 aperture 장착으로 5 nm 고분해능 구현이 가능합니다.
총 5축 구성으로 간편한 샘플 위치 이동과 마우스 조작으로 단순하고 편리하게 작동이 가능합니다. 단계적으로 설정된 scan mode와 measurement tool을 이용하여 다양한 분석결과를 구할 수가 있습니다. 네비게이션 모드를 이용하기 때문에 편리한 위치이동이 가능하고 측정위치를 찾기가 편리합니다. Tilting -15°~90° 사용으로 다양한 각도의 촬영 및 EDS 분석이 용이합니다.
SE (Secondary Electron) - 이차 전자
요철에 의한 정보로 이미지 형성 : 주로 표면 현상을 관찰하는 용도로 사용됨
BSE (Back Scattered Electron) - 후방산란 전자
시편을 이루고 있는 성분(원자번호)에 의해 이미지가 표현됨(brightness and darkness)
세련되고 편리한 소프트웨어
마우스 조작으로 단순하고 편리하게 작동이 가능함/Dual View Mode 적용
