Normal SEM의 모듈 소형화를 실현함으로써 최대 10만배까지 관찰 가능
S/W 네비게이션 모드 장착
SE/BSE 디텍터 장착, 고(저)진공 모드 관찰 가능

Normal SEM의 모듈 소형화를 실현함으로써 최대 10만배까지 관찰 가능
다양한 aperture 장착으로 고분해능인 5 nm의 높은 이미지 스캔 가능

15 nm의 분해능과 6 만배까지 배율 확대가 가능한 보급형 mini SEM
샘플의 표면 이미지 (SE) 및 성분에 따라 명암으로 표현되는 이미지 (BSE) 를 확인할 수 있는 detector 장착

1만배 전후의 샘플 표면의 이미지를 관찰하기에 적합한 table top SEM
15 nm의 분해능과 6 만배까지 배율 확대가 가능한 보급형 mini SEM